Überwachung der Gasversorgung und -Verteilung
Die sichere Versorgung mit Prozessgasen ist die Grundlage jeder Halbleiterproduktion. Unsere hochsensiblen Gasdetektoren überwachen kontinuierlich Leitungen, Anschlüsse und Verteiler aller kritischen Gase wie Arsenwasserstoff, Phosphin, Bortrifluorid und Silane. Die speziell für diese Anwendung entwickelten Sensoren erkennen selbst kleinste Leckagen im ppb-Bereich und ermöglichen so eine frühzeitige Intervention, lange bevor gefährliche Konzentrationen erreicht werden. Mit EcoAnalytics-Systemen maximieren Sie die Sicherheit Ihrer Gasversorgungsinfrastruktur und minimieren das Risiko kostenintensiver Produktionsunterbrechungen.
Abluftüberwachung von Gas-Kabinetten und VMBs
Gas-Kabinette und Ventil-Manifold-Boxen (VMBs) stellen besondere Herausforderungen an die Gasmesstechnik. Unsere spezialisierten Messgeräte für die Abluftüberwachung dieser Systeme erfassen zuverlässig selbst geringste Gaskonzentrationen unter anspruchsvollen Bedingungen. Die robusten Sensoren widerstehen korrosiven Einflüssen und liefern auch nach Jahren präzise Messwerte. Durch die nahtlose Integration in bestehende Steuerungssysteme wird bei Detektion von Leckagen eine sofortige Abschaltung eingeleitet, was maximale Sicherheit für Personal und Anlagen gewährleistet.
Raumüberwachung in Gasversorgungsräumen
In Räumen, in denen Spezial- und Prozessgase gelagert und verteilt werden, ist eine flächendeckende Gasüberwachung unverzichtbar. Unsere Systeme zur Raumluftüberwachung erfassen kontinuierlich alle relevanten Gase und alarmieren bei Grenzwertüberschreitungen. Die strategisch platzierten Sensoren ermöglichen eine optimale Abdeckung aller kritischen Bereiche und gewährleisten so höchste Sicherheit für Wartungs- und Bedienpersonal. Die redundante Auslegung sorgt für maximale Systemverfügbarkeit und erfüllt die hohen Sicherheitsanforderungen der Halbleiterindustrie.
Tankfarmüberwachung
Bei der Lagerung großer Mengen von Prozessgasen in Tankfarmen sind besonders robuste und zuverlässige Überwachungssysteme erforderlich. Unsere speziell für Außenanwendungen entwickelten Gasdetektoren trotzen extremen Wetterbedingungen und liefern dennoch präzise Messwerte. Die intelligenten Sensoren unterscheiden zuverlässig zwischen normalen Umgebungseinflüssen und tatsächlichen Gasleckagen, wodurch Fehlalarme minimiert werden. Das modulare Konzept ermöglicht zudem eine einfache Erweiterung bei wachsenden Anlagen oder sich ändernden Anforderungen.
Abluftüberwachung der Reinraum-Tools
Prozessanlagen und Tools im Reinraum erfordern eine zuverlässige Überwachung der Abluft, um sowohl die Sicherheit als auch die Produktqualität zu gewährleisten. Unsere hochpräzisen Messsysteme für die Abluftüberwachung von Ätzanlagen, CVD- und PVD-Systemen erfassen selbst geringste Konzentrationen kritischer Prozessgase. Die speziell für Halbleiteranwendungen entwickelten Sensoren sind gegen Querempfindlichkeiten optimiert und liefern zuverlässige Messwerte auch bei komplexen Gasgemischen. Mit EcoAnalytics-Systemen stellen Sie sicher, dass Prozessabweichungen frühzeitig erkannt werden, bevor sie die Produktqualität beeinträchtigen.
Luftüberwachung in Reinräumen
Die Reinraumluft muss kontinuierlich auf kleinste Konzentrationen von Prozessgasen überwacht werden, um sowohl die Mitarbeitenden als auch die hochempfindlichen Prozesse zu schützen. Unsere reinraumtauglichen Gasdetektoren erfüllen höchste Anforderungen an Partikelfreiheit und Materialkompatibilität. Die diskreten Sensoren lassen sich nahtlos in Reinraumdecken oder -wände integrieren und beeinträchtigen weder die Luftströmung noch die optische Erscheinung. Mit höchster Messgenauigkeit im ppb-Bereich gewährleisten sie die sichere Einhaltung aller Arbeitsplatzgrenzwerte und tragen so entscheidend zum Gesundheitsschutz bei.
Überwachung von Abgasreinigungssystemen
Die sichere und effiziente Funktion von Abgasreinigungssystemen (Scrubber) ist entscheidend für den umweltgerechten Betrieb von Halbleiterfertigungen. Unsere spezialisierten Messgeräte überwachen kontinuierlich die Effizienz der Abgasreinigung und erkennen frühzeitig Funktionsstörungen oder nachlassende Reinigungsleistung. Die korrosionsbeständigen Sensoren widerstehen auch aggressivsten Medien und gewährleisten langfristig zuverlässige Messungen. Mit EcoAnalytics-Überwachungssystemen optimieren Sie nicht nur die Betriebssicherheit Ihrer Abgasreinigung, sondern dokumentieren auch lückenlos die Einhaltung aller Umweltauflagen.
